2019年11月9日，由中国仪器仪表学会、郑州市人民政府主办，智能传感器创新联盟、西安交通大学、郑州市工业和信息化局承办的“智能传感器与MEMS前沿技术论坛”在郑州国际会展中心隆重举办，来自传感器及相关领域的高校、企业和研究所人员参加了本次专题论坛。

中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德

中国工程院院士、现任清华大学党委常委、副校长尤政

中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德，中国工程院院士、清华大学党委常委、副校长尤政出席了本次论坛并发表致辞。

围绕智能传感，前沿产业技术及产品应用，来自成都电子科技大学王曾辉、中国科学院上海微系统与信息技术研究所重点实验室副主任李铁、苏州大学纳米科学与技术学院副院长孙旭辉、欧姆龙电子部件贸易（上海）有限公司技术支持工程师三角卓士、西南科技大学微系统中心主任高扬等知名传感器产业专家和企业代表在现场发表主旨演讲，并在以传感器技术为核心的智能制造等相关产业链领域进行了观点碰撞。

传感器作为一种能感知、转化、输出信息的装置，在很多领域都有应用。随着物联网、人工智能技术的发展，智能传感器也成为了新的市场需求，未来在工业、医疗、农业、3C等各行各业承担着不可或缺的作用。

成都电子科技大学王曾辉

纳米机电器件，顾名思义，是具有机械运动自由度的纳米电子器件。此“能动性”使得这类器件在研究低维及纳米尺度的物理现象中具有一些独到的潜力和优势。成都电子科技大学王曾辉以“动”察秋毫——用纳米几点器件来探索微尺度世界为主题进行了演讲，报告中通过列举表明在一些工作中，低维纳米材料的机械运动能被用来帮助探索新的低维现象和纳米材料体系，使得研究者“动”若观火地检测到一些原来不容易被观察到的玩象，进而带来新的发现。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所重点实验室副主任李铁

微纳传感器由于体积小、功耗低、性能高，已成为MEMS/NEMS技术的下一个市场化热点,预期将在手机、医疗、环境和消费领域得到广泛应用。但目前的技术难点在于将可批量化制造的MEMS技术与纳米加工技术实现有机结合,以实现纳米材料的高灵敏度、高选择性,同时满足低成本、大批量制造的要求。中国科学院上海微系统与信息技术研究所重点实验室副主任李铁在走向微电子产业的微纳传感器研究的报告中回顾了课题组近年来将MEMS技术与纳米材料制备技术的融合制造方法方面的探索，以及在超高灵敏微纳传感器研制方面的应用。

苏州大学纳米科学与技术学院副院长孙旭辉

近年来，人工智能觉在世界范围内已经得到了很大的发展，人工智能嗅觉在改善环境空气质量、保障国家公共安全、打击犯罪活动、辅助预测疾病、增强军事对抗能力、促进食品卫生以及公共安全、监测工业漏气和毒气等多方面已经得到越来越广泛的应用。苏州大学纳米科学与技术学院副院长孙旭辉的演讲主题是纳米气体传感器及其人工嗅觉的实现，在报告中，他介绍了近年来在异质结纳米气敏材料及其机理研究、器件制备、系统集成及其应用方面的研究结果。最后，还分享了其在自驱动气体传感系统方面的研究。

欧姆龙电子部件贸易（上海）有限公司技术支持工程师三角卓士

欧姆龙技术电子元器件业务，聚焦终端/设备领域，向客户提供快速、容易处理、有价值的数据。欧姆龙电子部件贸易（上海）有限公司技术支持工程师三角卓士以智慧城市时代需要的终端智能感知为主题进行了演讲。他向与会观众介绍了欧姆龙与保险公司、天气业务、物联网安全管理等多方面的合作案列,及个人住宅、商务楼宇和店铺的传感器应用。

西南科技大学微系统中心主任高扬

西南科技大学微系统中心主任高扬在进行薄膜体声波（BAW）技术的新一轮创新与挑战的主题演讲时表示，简要介绍了BAW SOFARE的现状，以及西南科技大学微系统中心的相关工作。他表示，过去10年，手机射频滤波器的机遇推动了薄膜体声波(BAW)技术的快速发展。随着技术升级换代BAW技术显示出更大的活力，未来5年BAW滤波器市场格局将重新洗牌。更为重要的是，BAW技术将超越滤波器应用，迅速扩展到传感器、振荡器、天线等新的领域。

随着MEMS技术、信息理论及数据分析算法的继续发展，未来的传感器必将变得更加多功能化、智能化。在各种新兴科学技术呈辐射状广泛渗透的当今社会，作为现代科学“耳目”的传感器系统，作为人们快速获取、分析和利用有效信息的基础，也必将进一步得到关注。