北京俄华通仪表技术有限公司

创新产品组|三等奖

‍‍研究现状

目前国内低温介质压力测量多数采用毛细引压管升温和充油法兰导压以及机械方式等为主，在测量过程中测得压力值与实际压力值存在较大误差。

‍‍创新理念

钛-硅蓝宝石压力传感器HPL低温系列，突破了压力传感器不能直接对低温介质测量的屏障，可直接对低温-200度的介质进行测量，且测量精度高，可应用于深低温设备中用于液化天然气、液氧、液氮、液氢等介质的测量。

‍‍创新描述

钛/硅-蓝宝石压力传感器为应变压阻结构，在弹性体蓝宝石上异质外延生长单晶硅薄膜，利用干法腐蚀制作蓝宝石杯，然后刻蚀硅膜形成惠斯登力敏电桥。蓝宝石+钛合金在850℃高温熔焊在一起，形成绝缘性很好的基底垫层。由钛合金接收（感压）膜片和钛合金测量双膜片构成，蓝宝石上异质外延应变敏感电路膜片，被熔焊在钛合金测量膜片上，当接收（感压）膜片在被测压力作用时，将被测压力传到测量膜片上，这时测量膜片产生变型，该形变电桥输出会发生变化，变化的幅度与被测压力成正比，电桥电路将应变电桥的失衡信号，转换为电压信号输出。

‍‍使用时间

产品于2018年4月份设计完成，且经过多次测试改进，年底已实现量产化。2019年5月份开始已在国内多家公司不同行业进行使用。

‍‍

‍‍图片展示