真空是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象。事实上，在真空技术里，真空系针对大气而言，一特定空间内部之部份物质被排出，使其压力小于一个标准大气压，则通称此空间为真空或真空状态。而工业上的真空则指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为高真空、中真空和低真空。在现代许多高精密度的产品在制造过程中的某些阶段必需真空使用程度不一的真空才能制造，如半导体、硬盘、镜片。下面工采网小编说说空气质量流量传感器在低真空控制中的气体流量测量相关应用。

真空气体流量的测量常见于需要真空气流的过程， 如宽范围湿度的发生过程， 卷烟的生产过程及大气环境的模拟过程等。在真空气体流量的测量时流量调节过程中， 调节阀必不可少。真空状态下， 流经调节阀的流量几乎完全由阀前、后压力、气流温度四个变量决定。因此。真空状态下， 气体流量的测量具有如下特点 ：

（1） 流量密度小， 限制了涡街流量计与超声流量计的正常使用。对于前者相应的气流推力过小，对于后者则会产生阻抗匹配的困难。

（2） 不允许引入明显的压力损失。真空管道上安装流量计后增大了阻力， 产生较大的压损将使动力损耗大大增加， 不利于节能。因而孔板流量计、涡轮流量计、容积式流量计等均不适用。

（3） 流量计在负压管道上安装后， 如果存在泄漏很难觉察， 不仅会浪费动力， 而且会严重破坏内部气体环境。

空气质量流量传感器在真空控制中的气体流量测量

霍尼韦尔Honeywell 空气质量流量传感器 － AWM3300V输出电压在50mV： AWM3000 系列是输出为1－5V 或4～20mA的气体质量流量传感器 。激光校整保证了互换性。测量流速可至1．0LPM 。能承受共膜压力为25PSI 。

霍尼韦尔Honeywell 空气质量流量传感器 AWM3300V 特点：

激光微调提高传感器的互换性

流量传感高达1．0 SLPM

低差压传感

霍尼韦尔Honeywell 空气质量流量传感器 AWM3300V 参数：