继全国首条8英寸MEMS研发中试线落地上海嘉定工业区后，近日，由国家智能传感器创新中心（以下简称“创新中心”）建设的国内首条12英寸先进传感器研发中试线，也在嘉定成功通线。

图源网络（芯研所采编）

芯研所7月4日消息，随着上海市加快推进城市数字化转型，物联感知网络越织越密，先进传感器产业蓬勃发展。“面向新兴技术发展和市场应用需求，创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。”创新中心相关负责人表示，未来，将重点搭建共性技术平台，专注于先进传感器特色工艺研发和中试。

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该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，可提供产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。

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目前，创新中心已联合中国传感器与物联网产业联盟的1000余家企业开展共性技术研发，形成的“产、学、研、用”协同创新机制，将加速国内先进传感器及相关应用的核心技术发展，推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。

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硅片一旦沾染微尘，就可能失效，因此中试线必须在无尘室下作业，而这种高标准厂房的建设要求极高，其中，最为严苛的是十级洁净室，即一分钟内每立方英尺的空间内大于0.2微米的微尘必须少于10颗。为此，嘉定区相关部门第一时间为该项目寻找合适的厂房，并跟踪服务整个项目进程。

嘉定区科委主任谢东升表示，加快建设国内首条12英寸先进传感器中试线，有利于打造一个集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，推进区域内产、学、研、用的协同发展。“以研发中试线为支点，可以撬动更多创新企业和高层次人才团队来到嘉定，开展产品技术研发。通过整合区内产业孵化器、产业基金等资源，助力嘉定打造千亿级智能传感器及物联网产业。”

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2021年1-5月，嘉定区智能传感器及物联网产业总产出99.6亿元。目前，嘉定区内已集聚智能传感器及物联网企业超200家，初步覆盖产业链上中下游各环节，拥有国家集成电路材料技术创新中心等7个公共服务性平台以及2个集成电路基金。