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直线旋转执行器在半导体行业中的应用

发布时间:2021-11-01作者:智汇小新

近几年,我国IC行业蓬勃发展,芯片设计技术及封测技术已经走向世界前列,但后端的制造业却存在严重的技术依赖。以芯片晶圆的分拣为例,取放操作(PICK&PLACE)是芯片晶圆分拣的基本工序,这类工序往往使用搭载高速直线运动模组(直线运动往复频率会达到20Hz左右)的负压吸盘实现,直线运动具有位置精度高,加速度高,速度快,惯量大的特点。


但是被搬运的晶圆往往为分散放置,这样就导致在分拣过程中存在较大的接触冲击力,如超过晶圆的承受范围,就会导致晶圆损坏。因此就要求晶圆的分拣设备在极短的时间内完成位置和力的控制(一般力小于0.5N)。同时还需要通过旋转运动纠正晶圆的角度。这种集成直线运动和旋转运动的末端设备就是旋转直线执行器。


 直线旋转执行器的行业现状


据估算,直线旋转执行器在国内约有30亿的市场空间,其中晶圆分拣,高端柔性SMT是刚需市场,此外在新能源、半导体、3C以及生物医药领域也有大量的应用需求。但由于我国直线旋转执行器的发展较慢,目前国内99%的执行器都是依赖于进口,价格昂贵且供货周期长,极大地影响了我国制造效率。


国外目前主要有三家企业涉及直线旋转执行器领域,分别是美国的SMAC公司、日本THK以及新加坡的雅科贝思。但由于这三家国外产品价格昂贵,供货周期长,难以满足国内制造业需要,实际上成为了国内半导体、生物医药等行业量产的“卡脖子”核心零部件。

钧舵PPA助力半导体发展


钧舵机器人瞄准行业需求,根据多年的技术积累,突破音圈电机,直线电机,直线编码器,伺服驱动技术和力控技术,推出具有自主知识产权的直线旋转执行器PPA(PICK&PLACE Actuator),成功打破了国外的产品封锁,能广泛应用于高速高力感知的搬运场景。

钧舵PPA六大技术优势


产品精密装配过程中,末端执行器往往需要实现直线和旋转两个独立自由度的运动,以达到拾取、变姿态和放置的动作。而这类执行器,市面上绝大多数的厂家都是通过“旋转伺服电机+丝杆”来实现的。虽然“直线+旋转”的问题解决了,其“副作用”也随之而来。“旋转伺服电机+丝杆”的解决方案使得整个执行器体积大、占用空间多,且加速度通常只能达到10-20m/s2,精度也很难达到微米级,而且基本不具备力控的能力。而效率、精度和力控等方面性能的不足,很难满足当前半导体、生物医药等行业快速发展的需求。


钧舵研发团队突破高难度技术细节,用六大技术优势攻破“卡脖子”难关,正式进入直线旋转执行器市场。


    1.体积小,降低能耗

相比于传统直线旋转单元,钧舵研发的直线旋转执行器体积减小50%,可降低80%的能耗;

2.高场景匹配度

相比于传统直线旋转单元,PPA的直线运动速度提高20倍,可满足高速应用场景;

3.高精度

PPA直线运动精度达到0.5um,相比于一般的丝杆传动方式,无齿隙和回隙,精度提高10倍;

4.精准力控

PPA具有力控功能,最小力分辨率可到2g,避免由于无力感知带来的物品损坏,减少精密零件损伤;

5.柔性化

PPA具有力/位置混合控制,能够同时处理不同尺寸物体,以柔克刚,柔性处理;

6.高能量密度

采用SOC控制方案和PWM AD补偿方案,驱动效率提升30%,同步性提升10%,成本降低20%。


公司简介

宜科(天津)电子有限公司是中国工业自动化的领军企业,于2003年在天津投资成立,销售和服务网络覆盖全国。作为中国本土工业自动化产品的提供商和智能制造解决方案的供应商,宜科在汽车、汽车零部件、工程机械、机器人、食品制药、印刷包装、纺织机械、物流设备、电子制造等诸多领域占据领先地位。宜科为智慧工厂的整体规划实施提供自系统层、控制层、网络层到执行层自上而下的全系列服务,产品及解决方案涵盖但不局限于云平台、MES制造执行系统、工业现场总线、工业以太网、工业无线通讯、机器人及智能设备组成的自动化生产线、自动化电气控制系统集成、智能物流仓储系统等,以实现真正智能化的生产制造,从而带来生产力和生产效率的大幅提升,以及对生产灵活性和生产复杂性的管理能力的大幅提升。多年来,宜科以创新的技术、卓越的解决方案和产品坚持不懈地为中国制造业的发展提供全面支持,并以出众的品质和令人信赖的可靠性、领先的技术成就、不懈的创新追求,在业界独树一帜。帮助中国制造业转型升级,加速智能制造进程,成为中国工业4.0智慧工厂解决方案当之无愧的践行者。

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